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精瓷新资料请求根据流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备办法专利有用进步碳化硅陶瓷片各层结合度防止分层

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国家知识产权局信息数据显现,广东精瓷新资料有限公司请求一项名为“一种根据流延成型的碳化硅静电卡盘